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表面處理層無損檢測系統
mitutoyo數顯二維高度儀lh-600d Mitutoyo 518-341A-21LH-600D分辨率/重復精度為0.1/0.5um時，精度可高達（1.3+0.6L/600）um。確保垂直度（前部）達6um，直線度達4um。全/半空氣浮動系統可調節氣墊。
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菲希爾測厚儀
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