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6D激光干涉儀誤差分析工作原理 美國api激光干涉儀，用于機床設備、測量儀器及精密部件的線性精度、角度及回轉角精度的檢測和驗收。API公司XD系列激光干涉儀的各項參數（線性、直線度、角度）都是溯源到國家和標準上的。
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菲希爾測厚儀
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